Boletín Upiita
MEMS FABRICACIÓN DE MICROMOTORES
Los micromotores electrostáticos son dispositivos que forman parte de la familia de sistemas microelectromecánicos (MEMS). Estos dispositivos son actuadores rotativos que proporcionan movimientos graduales o continuos. Los parámetros en el diseño de cada elemento tienen una relación directa con el voltaje de accionamiento del micromotor.
Palabras clave:
MEMS
Micromotores
Electrostatico
Micromachining
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